無(wú)塵車(chē)間加濕 電子廠自動(dòng)加濕系統(tǒng)人們對(duì)生產(chǎn)環(huán)境和生活質(zhì)量提升到了一個(gè)新的臺(tái)階，凈化工程技術(shù)也逐漸進(jìn)入人們的視野中，無(wú)塵車(chē)間在電子，航空航天，生物工程制藥，化工，食品，機(jī)械制造等高科技領(lǐng)域和現(xiàn)代化科學(xué)領(lǐng)域中廣泛利用。為了達(dá)到產(chǎn)品的質(zhì)量需要一個(gè)潔凈不污染的空間，能控制潔凈度和溫濕度的空間，這樣的空間能夠保證產(chǎn)品的生產(chǎn)制造。尤其電子產(chǎn)品或儀器儀表都是需要在在百級(jí)以上無(wú)塵車(chē)間而且都有嚴(yán)格的恒溫、恒濕的要求，不僅對(duì)廠房?jī)?nèi)的溫、濕度有嚴(yán)格的要求，而且對(duì)溫度和相對(duì)濕度的波動(dòng)范圍也有嚴(yán)格的要求。
因此，在凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣處理上要采取相應(yīng)的措施，例如：冬季要加熱加濕(因?yàn)槎臼彝饪諝馐呛涓稍锏?。對(duì)于凈化空調(diào)系統(tǒng)的加濕問(wèn)題而言，常用的加濕方法有超聲波加濕，其加濕方法是通過(guò)分子篩蒸發(fā)技術(shù)，除去水中的鈣鎂離子，改善空氣環(huán)境質(zhì)量，達(dá)到增加空氣濕度，消除靜電等作用，以保證工程質(zhì)量和正常生產(chǎn)。
無(wú)塵車(chē)間內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電都控制在某一需求范圍內(nèi)。防靜電用適當(dāng)?shù)目諝庠鰸窨梢杂行У慕档秃头乐轨o電的產(chǎn)生。而在車(chē)間環(huán)境濕度調(diào)節(jié)方面，使用超聲波系列純水工業(yè)加濕器可以使無(wú)塵車(chē)間保持一定的濕度，對(duì)消除靜電，減少粉塵以及提高潔凈度都有很大的幫助。 隨著工業(yè)和科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度提出了越來(lái)越高的要求，空氣凈化工作也越來(lái)越引起大家的重視。近年來(lái)，我們結(jié)合工程實(shí)踐做了一些潔凈車(chē)間的濕度調(diào)研。從實(shí)踐中我們體會(huì)到，潔凈車(chē)間濕度控制是無(wú)塵車(chē)間生產(chǎn)具備的重要條件，相對(duì)濕度是無(wú)塵車(chē)間、潔凈室運(yùn)作過(guò)程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件。
無(wú)塵車(chē)間加濕 電子廠自動(dòng)加濕系統(tǒng)
半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間、潔凈室中的典型的相對(duì)濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在 1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到 5%的范圍內(nèi)。 近年，在這些規(guī)定范圍中保持處理空氣過(guò)程，相對(duì)濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素，其中包括：
細(xì)菌生長(zhǎng)；工作人員感到室溫的范圍；出現(xiàn)靜電荷；金屬腐蝕；水汽冷凝；光刻的退化；吸水性；
細(xì)菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨蟲(chóng))在相對(duì)濕度超過(guò)60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對(duì)濕度超過(guò)30%時(shí)就可以增長(zhǎng)。在相對(duì)濕度處于40%至60%的范圍之間時(shí)，可以使細(xì)菌的影響以及呼吸道感染降低。 相對(duì)濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類(lèi)感覺(jué)好的適度范圍。濕度過(guò)高會(huì)使人覺(jué)得氣悶，而濕度低于30%則會(huì)讓人感覺(jué)干燥，皮膚破裂，呼吸道不適以及情感上的不快。
高濕度實(shí)際上減小了無(wú)塵車(chē)間、潔凈室表面的靜電荷積累──這是大家希望的結(jié)果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當(dāng)相對(duì)濕度超過(guò)50%時(shí)，靜電荷開(kāi)始迅速消散，但是當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí)，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長(zhǎng)一段時(shí)間。相對(duì)濕度在35%到40%之間可以作為一個(gè)令人滿意的折中，半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間、潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。
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