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詳細介紹
離子體增強型化學氣相沉積設備、1、產品用途
本設備在硅片或光學玻璃等沉底材料上沉積半導體薄膜材料，可用于SiOx、 SiNx、 SiONx、a-Si、石墨烯等材料的制備，在微電子、新材料、新能源等方向有廣泛應用。通過穩定可靠的高精度真空機械手臂，將基片在工藝室和傳輸室間傳輸，實現工藝室不放大氣，連續生產。配置高性能等離子體，可根據客戶需求定制等離子體參數。
2、技術參數
| 基片尺寸 | 可選：4"、6"、8"、12" |
| 極限真空度 | 5×10-1Pa （機械泵配置） |
| 前級泵 | 可選：機械泵、干泵 |
| 加熱器 | 800℃，可選配升降及旋轉功能（更高溫度可定制） |
| 工藝氣體 | 配3路MFC充氣，氣體種類可選，更多需求可定制 |
| 水路系統 | 采用進口水路檢測傳感器，實現各路水流量及溫度的監控 |
| 軟件控制 | 可編輯、儲存多種工藝配方，任意調用，適用于工藝研究 |
| 具備“一鍵啟動式（全自動）生產”功能，適用于小批量生產 | |
| 賬戶分三級權限設置，提高系統安全性及工藝保密性 | |
| 各種安全互鎖設計，防止誤操作 | |
| 其他 | 如有其他特殊需求可定制 |
離子體增強型化學氣相沉積設備
成都華聚科技有限公司位于成都市經濟技術開發區（龍泉驛），是一家以自動化設備技術為核心，致力于數字化智能制造裝備的高科技企業。
公司與國內外多個研究所、高校和企業*合作，始終以超前的科技和強大的創新能力，服務于客戶。
公司主營業務覆蓋：Cluster團簇式半導體工藝設備、PECVD設備、PVD設備、CVD設備、核心部件（機械手、加熱器、Cluster團簇中心傳送平臺）、定制化真空設備、機電一體自動化服務（機電物聯網服務）等一系列的產品或解決方案。
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Chengdu Huaju Technology was founded in 2016, the registration place is located in Chengdu economic and technological development zone.Our company concentrates on R&D , manufacture of the high-end automatic equipment as well as the vacuum application equipment of the micro-nano materials and devices, and we are the leading company of the field of vacuum. In addition, we cooperate with many scientific research institutes(colleges and universities).
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