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瑞邦精控氣浮轉臺的特點

來源：北京瑞邦精控科技有限公司   2022年12月20日 11:11   1086

氣浮轉臺是把轉軸在空氣中懸浮起來進行非接觸式旋轉，這種懸浮是軸承腔內導入的空氣壓力來實現的，泄壓的縫隙特別小，獲得了較高的軸向和徑向跳動誤差。應用于晶圓加工與檢測、生物檢測、高精度計量、光學檢測和制造以及MEMS/納米技術設備制造等行業。

瑞邦精控氣浮轉臺的特點：

1.     閉式氣浮結構；

2.     精準回零位置；

3.     軸向跳動高達10nm；

4.     手動和電動旋轉時軸向和徑向跳動誤差一致；

5.     高速穩定性；

6.     解決氣浮轉臺抱死的問題；

7.     使用壽命10年以上；

8.     作為A軸可臥式使用。

對氣浮轉臺進行了優化設計，氣浮軸承表面和創新的預壓高剛度，承載能力大，可側向放置使用，解決氣浮抱死的問題。優秀的軸向和徑向誤差運動，較小的傾角誤差，以及由此產生的性能明顯優于其它氣浮轉臺和主軸。

氣浮轉臺可定制滑環或氣路接頭，滿足高速度穩定性或高精度慣性導航測試的應用。由于氣浮轉臺徑向剛度大，可定制成AC軸，滿足曲面微加工或測試的應用，斷電旋轉和自動旋轉時跳動誤差保持一致。

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